Alüminyum Nitrür (AlN), yüksek sertliğe ve aşırı kırılganlığa sahip birinci sınıf bir teknik seramiktir. Sünek metallerin aksine, sinterlenmiş AlN geleneksel tornalama, damgalama veya bükme yöntemleriyle şekillendirilemez. Mekanik stres altında kenar ufalanmasına ve yapısal çatlamaya oldukça yatkındır.
Sonuç olarak, küp şeklinde kesme, mikro-delme ve yüzey cilalama gibi-özel hassas işlemede uzmanlaşmak-, yüksek ürün verimi ve istikrarlı termal performans elde etmek açısından kritik öneme sahiptir. Küresel elektronik ve yarı iletken endüstrileri öncelikle dört temel işleme yöntemine dayanmaktadır:
1. Hassas Mekanik Taşlama (Standart Şekillendirme)
Bu, temel geometrik şekillendirme, kalınlık kontrolü ve sinterlenmiş çarpıklık sonrası-düzleştirme için temel yöntemdir.
Nasıl Çalışır: Yüksek-hızlı, elmas-uçlu taşlama taşları, fazla miktardaki malzemeyi çıkarmak için sert seramik matrisi keser.
Artıları ve Eksileri: Toplu, düz alt tabakalar için yüksek boyutsal kararlılık ve-maliyet verimliliği sunar. Bununla birlikte, mekanik taşlama yoğun fiziksel sıkıştırma uygulayarak kenar kırılmasına yatkın hale getirir. Karmaşık geometrileri veya mikro-yolları işleyemez. Termal stres kırılmalarını önlemek için sürekli su soğutması zorunludur.
2. Hassas Lazer İşleme(Mikroyapılar için Temel Süreç)
Lazer işleme, üst düzey elektronik alt tabakaların-küp şeklinde kesilmesi, çizilmesi, dilimlenmesi ve karmaşık mikro-işlenmesi için endüstri standardı-çözümdür.
Nasıl Çalışır: Temassız-yüksek-enerjili bir lazer ışını, herhangi bir fiziksel alet basıncı uygulamadan, malzemeyi programlanmış bir yol boyunca buharlaştırır.
Artıları ve Eksileri: Lazer işleme, mekanik gerilimi ortadan kaldırarak mikro-çatlakları ve kenar kırılmalarını tamamen önler. Mikron-seviyesindeki toleranslara ulaşarak ultra-mikro yol dizilerine, dar yuvalara ve düzensiz konturlara olanak tanır. Bu, onu yüksek-yoğunluklu yarı iletken paketleme ve yüksek-güçlü IGBT modüllerinin seri üretimi için mutlak temel teknoloji haline getirir.
3. Ultra-Hassas Alıştırma ve CMP (Nano-Ölçekli Yüzey İşlem)
AlN tek-kristal alt katmanlar ve gelişmiş optoelektronik levhalar için, yüzey pürüzlülüğü ve düzlemsellik, aşağı yöndeki yarı iletken ince-film epitaksinin başarısını belirler.
Nasıl Çalışır: Bu işlem, çift-taraflı mekanik alıştırmayı, ultra-ince elmas bulamaçları ve kimyasal pedler kullanılarak Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP) ile birleştirir.
Artıları ve Eksileri: Alt-yüzey kusurlarını, mikro çizikleri ve mikro-çıkıntıları ortadan kaldırarak yüzey pürüzlülüğünü nanometre ölçeğine (Ra) düşürür<1mm). This perfect mirror finish ensures uniform epitaxial crystal growth and heavily boosts device reliability.
4. Aşağı Yönde Yüzey Modifikasyonu ve Metalizasyon
-İşlenmiş AlN yüksek yüzey eylemsizliği sergiler ve nemli ortamlarda hafif hidrolize uğrayabilir. Malzemeyi devre için hazırlamak üzere işleme sonrasında-özel yüzey işlemleri uygulanır.
Nasıl Çalışır: Magnetron püskürtme, vakumlu buharlaştırma veya macun sinterleme gibi işlemler, seramik yüzeye lokalize bir metal katman uygular (metalizasyon).
Artıları ve Eksileri: Bu işlem, AlN alt katmanına mükemmel lehimlenebilirlik ve tel{0}}bağlama yetenekleri kazandırarak ham seramikleri işlevsel DBC/DPC devre kartlarına dönüştürür. Aynı zamanda,-oksidasyona ve neme- dayanıklı koruyucu katmanlar da biriktirerek, zorlu endüstriyel koşullarda bileşenin çalışma ömrünü uzatır.
Genel olarak, alüminyum nitrürün işlenmesindeki temel zorluk, yüksek-hassasiyet, düşük-gerilme ve hatta temassız-işleme tekniklerinin kullanılmasını gerektiren malzeme özelliklerinde (özellikle yüksek sertliği, yüksek kırılganlığı ve düşük hata toleransı- yatmaktadır.
İşleme teknolojisindeki, özellikle de hassas lazer işlemedeki sürekli ilerlemeler, alüminyum nitrürün geleneksel endüstriyel seramiklerde kullanılan bir malzemeden, yüksek-yarı iletken- sınıf uygulamalarda kullanılan bir malzemeye hızlı bir şekilde evrimleşmesini sağlıyor.
Alüminyum nitrür ve diğer gelişmiş seramiklerin hassas işlenmesi alanında,YCLASERyüksek-hassas lazer kesim ve mikro işleme teknolojilerinin Ar-Ge'sine ve uygulanmasına odaklanmaktadır.
Bugün YC LASER ile iletişime geçingüvenilir, uygun maliyetli bir lazer çözümüyle gelişmiş seramik iş akışlarınızı optimize etmek için{0}.
